半導體芯片制造業(yè)在國民經(jīng)濟中起著舉足輕重的作用，相關(guān)企業(yè)的規(guī)模也越來越大，其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證，還關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的順利進行。

• 集成電路芯片制造業(yè)屬于資金和技術(shù)高度密集的精密制造行業(yè)，其生產(chǎn)有著顯著的特點，生產(chǎn)過程要求環(huán)境潔凈度高，對溫度和濕度均有較為嚴苛的要求。
• 生產(chǎn)過程中大規(guī)模使用電子器件和集成電路且自動化程度比較高。
• 集成電路芯片制造關(guān)鍵設(shè)備多、工位器具多、工藝步驟繁多復雜。除供配電系統(tǒng)外，還需傳送系統(tǒng)、超純水凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣冷風冷系統(tǒng)、特殊氣體分配系統(tǒng)來保證生產(chǎn)過程的順利實施以及關(guān)鍵設(shè)備的安全運行。

由于整個工廠的生產(chǎn)條件***終通過電能供給來實現(xiàn)，因此半導體芯片制造對供電質(zhì)量要求非常高。

半導體芯片制造生產(chǎn)存在的電能質(zhì)量問題

一、諧波問題

IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的品圓機、或變頻控制的半導體機臺都會產(chǎn)生大量的諧波，它們不但會造成機臺設(shè)備自身的壞機現(xiàn)象，回流進電網(wǎng)的諧波電流還會引起其它回路的發(fā)熱，電子開關(guān)誤動作、供電電壓不穩(wěn)，甚至引起生產(chǎn)線停線、半成品的報廢。

二、電壓暫降及中斷

半導體制造設(shè)備非常昂貴，不少設(shè)備價值高達幾百萬美元，對供電電壓波動非常敏感，毫秒級的電壓波動，足以使得半導體工廠的工藝設(shè)備發(fā)生停機從而中斷生產(chǎn)，造成巨大的經(jīng)濟損失。且芯片生產(chǎn)制造工藝步驟繁多，常規(guī)的動態(tài)存儲內(nèi)存加工工藝需要 200 道以上工序，其中任何一步出錯都會直接影響產(chǎn)品的合格率，讓昂貴的芯片一文不值。

對電壓波動敏感的半導體工藝設(shè)備類型(幾乎囊括了所有半導體設(shè)備的類型)：刻蝕設(shè)備（干刻和濕刻）、膜擴散沉淀設(shè)備（化學氣相沉淀和物理氣相沉淀）、加熱設(shè)備、表面處理和洗凈設(shè)備、光刻設(shè)備（步進光刻機和軌道光刻機、掃描光刻機）、化學機械拋光設(shè)備、離子注入設(shè)備、測定設(shè)備、自動測試設(shè)備等。

國家發(fā)改委經(jīng)濟調(diào)節(jié)運行局曾委托亞洲電能質(zhì)量產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟開展了電能質(zhì)量經(jīng)濟性影響調(diào)查，經(jīng)過大量的調(diào)研與分析，都表明電壓暫降與短時中斷都是非常顯著的電能質(zhì)量問題，且其中半導體行業(yè)因電能質(zhì)量擾動帶來的生產(chǎn)損失巨大。

電壓暫降及中斷使半導體生產(chǎn)設(shè)備停機，從而造成的直接損失和間接損失包括

• 直接損失:半導體硅片損壞和浪費、設(shè)備壽命縮短甚至損壞、清理產(chǎn)線的人工成本等。
• 間接損失:重新啟動生產(chǎn)線需要的時間、降低產(chǎn)品品質(zhì)、延誤交貨時間等。

每一次停機所造成的經(jīng)濟損失在半導體行業(yè)是以幾十萬、幾百萬甚至上千萬計算，所以電壓暫降問題已成為影響半導體制造廠非常重要的電能質(zhì)量問題，加強對電壓暫降等電壓事件的監(jiān)測分析與治理具有十分重要的現(xiàn)實意義。

解決方案

電壓暫降問題給半導體行業(yè)帶來了嚴重危害，為此，東方博沃提供了一套完整的解決方案，具體如下：

應用案例

1、BW-DVR在成都某大型半導體廠家應用

2、BW-APF在西安西弈斯偉硅片項目的應用